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发明名称 ELECTRONIC BEAM INCIDENCE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS61240600(A) 申请公布日期 1986.10.25
申请号 JP19850080201 申请日期 1985.04.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUMAKI KOJI;NISHI MASATSUGU
分类号 H05H13/04 主分类号 H05H13/04
代理机构 代理人
主权项
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