| 发明名称 |
PLANARIZING SEMICONDUCTOR SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2173822(A) |
申请公布日期 |
1986.10.22 |
| 申请号 |
GB19860007278 |
申请日期 |
1986.03.24 |
| 申请人 |
* NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION |
发明人 |
KATSUYUKI * MACHIDA;HIDEO * OIKAWA |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/48;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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