发明名称 单晶连续生长装置
摘要 单晶连续生长装置是单晶连续生长的设备,其特征为拉晶、退火连续进行。本实用新型是把拉晶炉和退火炉合为一体,由温度控制装置控制,实现热连续。拉晶头可以是一个,也可以是多个。本实用新型可以有效地节约投资,节约能耗,提高劳动生产率。
申请公布号 CN86200234U 申请公布日期 1986.10.22
申请号 CN86200234 申请日期 1986.01.31
申请人 中国科学院声学研究所 发明人 施仲坚;李惠章;刘金龙
分类号 C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 中国科学院声学研究所专利办公室 代理人 崔茹华;夏秀英
主权项 1、一种采用白金质坩埚提拉单晶的装置,其特征在于它由拉晶炉(7),退火炉(8),降温区(9),(10),晶体运输机械系统(15),(16),(17),(18),隔热堵头11-1,11-2,11-3,11-4,温度控制装置所构成。
地址 北京市中关村路5号