| 发明名称 |
Scanning electron beam apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2173945(A) |
申请公布日期 |
1986.10.22 |
| 申请号 |
GB19850030697 |
申请日期 |
1985.12.13 |
| 申请人 |
* INTERNATIONAL PRECISION INCORPORATED |
发明人 |
HIROTAMI * KOIKE |
| 分类号 |
H01J37/06;H01J37/141;H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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