| 发明名称 |
INSTALLATION DE MANUTENTION D'OBJETS FRAGILES EN ATMOSPHERE A EMPOUSSIEREMENT CONTROLE |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LA MANIPULATION D'OBJETS FRAGILES EN ATMOSPHERE CONTROLEE.</P><P>POUR TENIR COMPTE D'IMPERATIFS DE PROPRETE DANS LA MANUTENTION D'OBJETS TELS QUE DES TRANCHES DE SILICIUM EN COURS DE TRAITEMENT, ON PREVOIT UN SYSTEME DE TRANSFERTS ENTRE MACHINES PAR CHARIOTS NON MOTORISES. LES CHARIOTS 12 SONT TRACTES PAR UNE BANDE SANS FIN 14 ET ROULENT SUR DES RAILS 10. DES OUTILS DE TRANSFERT OT1... OT5 PERMETTENT LE PRELEVEMENT EN MARCHE DE CASSETTES PORTEES PAR LES CHARIOTS, ET LES REPOSENT SUR LES CHARIOTS APRES TRAITEMENT DANS LES DIFFERENTES MACHINES.</P><P>APPLICATION: INDUSTRIE DES SEMI-CONDUCTEURS.</P>
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| 申请公布号 |
FR2580262(A1) |
申请公布日期 |
1986.10.17 |
| 申请号 |
FR19850005561 |
申请日期 |
1985.04.12 |
| 申请人 |
EFCIS |
发明人 |
ANDRE ROCHET, GUY DUBOIS, PAUL LOUIS FAURE ET ALAIN LALANNE;DUBOIS GUY;FAURE PAUL LOUIS;LALANNE ALAIN |
| 分类号 |
B65G47/10;B65G47/50;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G17/12 |
主分类号 |
B65G47/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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