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发明名称
摘要
申请公布号
JPS61166538(U)
申请公布日期
1986.10.16
申请号
JP19850049928U
申请日期
1985.04.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/88;H01L21/94
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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