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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6146988(B2) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 JP19780097963 申请日期 1978.08.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WATARI SHIGERU;ICHINOHE EISUKE
分类号 H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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