| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VORMEN VAN EEN PATROON IN HET MICROMETERGEBIED IN HET OPPERVLAK VAN EEN VOORWERPSLAAG. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL180617(B) |
申请公布日期 |
1986.10.16 |
| 申请号 |
NL19800000109 |
申请日期 |
1980.01.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. TE TOKIO, JAPAN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/306;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/02 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
