发明名称 FIXATING DEVICE FOR WAFERS' CUTTING
摘要
申请公布号 CS245482(B1) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 CS19830001317 申请日期 1983.02.25
申请人 LEBEDEV,VALENTIN N.,SU;SLEPOV,TIMOFEJ N.,SU 发明人 LEBEDEV,VALENTIN N.,SU;SLEPOV,TIMOFEJ N.,SU
分类号 H01L21/78;B26D7/01;B28D5/00;(IPC1-7):B26D7/01 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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