发明名称 Verfahren zum Herstellen ultrareiner Halbleiterkristalle
摘要
申请公布号 DE1042539(B) 申请公布日期 1958.11.06
申请号 DE1954S040843 申请日期 1954.09.15
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FISCHER DR. HELMUT;WIBERG DR. EGON
分类号 B01J19/08;C01B19/00;C01B21/064;C01B21/072;C01B25/06;C01B33/02;C01B35/04;C22B5/16;C22B41/00;C22C1/00;C23C16/00;C30B11/12;C30B15/02;H01J37/32;H01L21/00 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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