| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN HALFGELEIDERINRICHTING WAARBIJ EEN OP EEN LAAG SILICIUMOXIDE AANWEZIGE DUBBELLAAG - BESTAANDE UIT POLY-SI EN EEN SILICIDE - IN EEN PLASMA WORDT GEETST. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8500771(A) |
申请公布日期 |
1986.10.16 |
| 申请号 |
NL19850000771 |
申请日期 |
1985.03.18 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
