发明名称 WEERGEEFSTELSEL VOOR EEN VELDEMISSIE-AFTASTMICROSCOOP.
摘要
申请公布号 NL179693(C) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 NL19730006298 申请日期 1973.05.04
申请人 NANOMETRICS, INC. TE SUNNYVALE, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/285;G01N23/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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