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发明名称
WEERGEEFSTELSEL VOOR EEN VELDEMISSIE-AFTASTMICROSCOOP.
摘要
申请公布号
NL179693(C)
申请公布日期
1986.10.16
申请号
NL19730006298
申请日期
1973.05.04
申请人
NANOMETRICS, INC. TE SUNNYVALE, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM.
发明人
分类号
H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/285;G01N23/22
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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