发明名称
摘要
申请公布号 JPS61166533(U) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 JP19850049748U 申请日期 1985.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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