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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DUENNFILMERZEUGUNG
摘要
申请公布号 DE3609681(A1) 申请公布日期 1986.10.16
申请号 DE19863609681 申请日期 1986.03.21
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP. 发明人 MACHIDA,KATSUYUKI;OIKAWA,HIDEO
分类号 H01L21/205;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/48;C23C16/511;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H05H1/46;C23C14/22;C23C14/34;H01L21/306;H01L21/56;H01L21/94;H05H1/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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