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发明名称 PLANAR PENNING MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS61231170(A) 申请公布日期 1986.10.15
申请号 JP19860072661 申请日期 1986.04.01
申请人 VARIAN ASSOC INC 发明人 JIYON SHII HERUMAA
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01F41/18;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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