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发明名称
(A) ;Cryopump having improved heat radiation shielding
摘要
申请公布号
US4121430(B1)
申请公布日期
1986.10.14
申请号
US19770793488
申请日期
1977.05.04
申请人
发明人
分类号
F04B37/08
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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