金属合金氧化物的溅射薄膜

摘要

公开金属合金氧化物薄膜和制造薄膜的溅射方法，以及这种薄膜作为抗-反射薄膜与例如银的金属薄膜共同使用的高透光、低辐射性涂层制品。也公开了改进金属和金属氧化物膜之间结合力的方法，以及在金属层和金属氧化物层之间存在底涂层的改进的多层涂覆制品。

主权项

1、高透光性，低辐射性制品，其特征在于结构组成如下：a透明非金属基体，b沉积在上述基体表面上的金属氧化物组成的第一层透明薄膜，c沉积在上述金属氧化物薄膜上的第一透明底涂层，d沉积在上述底涂层上的透明金属薄膜，e沉积在上述反射性金属薄膜上的第二透明底涂层，f沉积在上述第二底涂层上的金属氧化物组成的第二层透明薄膜；并且，如果金属氧化物组成的透明薄膜层是含锡/锌合金氧化反应的产物，则可以省去透明底涂层。