发明名称 |
Method for indirectly determining the intensity distribution of pulsed particle beams produced in a particle beam measuring instrument. |
摘要 |
<p>Zur indirekten Bestimmung der Intensitätsverteilung der in einem Korpuskularstrahl-Meßgerät mit Hilfe eines Strahlaustastsystems erzeugten Korpuskularstrahlpulse wird ein in seiner Zeitabhängigkeit bekanntes Signal s(t)) periodisch in eine Probe eingespeist und stroboskopisch nach dem Sampling-Prinzip abgetastet. Die gesuchte Intensitätsverteilung der Korpuskularstrahlpulse wird anschließend durch Entfaltung des von der Meßkette aufgezeichneten Meßsignals (h(t)) berechnet.</p> |
申请公布号 |
EP0196531(A1) |
申请公布日期 |
1986.10.08 |
申请号 |
EP19860103565 |
申请日期 |
1986.03.17 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
PLIES, ERICH, DR. RER. NAT. |
分类号 |
G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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