| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR COMPOSITE IMAGE FORMATION BY SCANNING ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0186851(A3) |
申请公布日期 |
1986.10.08 |
| 申请号 |
EP19850116115 |
申请日期 |
1985.12.17 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
FINNES, STEVEN JOHN |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/02 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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