| 发明名称 |
COMPENSATING FOR OPTICAL PATH LENGTH CHANGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2126746(B) |
申请公布日期 |
1986.10.08 |
| 申请号 |
GB19830019312 |
申请日期 |
1983.07.18 |
| 申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHI |
发明人 |
MICHIO * KOHNO;HIDEKI * INA;AKIYOSHI * SUZUKI |
| 分类号 |
G03B27/32;G01B11/00;G02B17/02;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B27/18 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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