发明名称 NON-CONTACT TOTAL LINE DYNAMIC TESTER
摘要
申请公布号 JPS61225831(A) 申请公布日期 1986.10.07
申请号 JP19850271733 申请日期 1985.12.04
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 YOHANESU JIEORUKU BEEHA;RATSUSERU UOOREN DOREIFUASU;GEIRII UEIN RUBUROFU
分类号 G01R31/26;G01Q30/02;G01Q30/16;G01Q30/20;G01R31/308;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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