发明名称 OPTICAL AUTOMATIC LINE WIDTH MEASURING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPS61225605(A) 申请公布日期 1986.10.07
申请号 JP19860068282 申请日期 1986.03.26
申请人 VICKERS PLC 发明人 KURISUTOFUAA POORU KAAKU
分类号 G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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