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<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE D'AUTOALIGNEMENT DE GRILLE DANS UN TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP.</P><P>DANS LES TRANSISTORS CONNUS A GRILLE AUTOALIGNEE, LA METALLISATION SCHOTTKY DE GRILLE DONNE LIEU A UNE DIFFUSION D'ATOMES DE METAUX DANS LA COUCHE ACTIVE. POUR EVITER CETTE POLLUTION, L'INVENTION PREVOIT DE RECOUVRIR LA PASTILLE SEMICONDUCTRICE 10, 11 PAR UNE COUCHE DE PROTECTION 18 DANS LAQUELLE EST PRATIQUEE UNE OUVERTURE 23. A TRAVERS CETTE OUVERTURE 23 EST IMPLANTE UN CAISSON 12 QUI FORME UNE JONCTION PN AVEC LA COUCHE ACTIVE 11. L'ELECTRODE DE GRILLE 13 EST DEPOSEE SUR CE CAISSON 12, ET LES BORDS DE CETTE ELECTRODE PERMETTENT D'AUTOALIGNER LES REGIONS DE SOURCE ET DRAIN 16, 17. LA JONCTION PN MASQUE LES EFFETS DE LA DIFFUSION DE METAUX PROVENANT DE LA GRILLE13.</P><P>APPLICATION A LA REALISATION DE CIRCUITS INTEGRES, NOTAMMENT SUR GAAS, POUR MATERIELS HYPERFREQUENCES.</P>
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