发明名称 METHOD OF FORMING BIER ON INNER LAYER AND FLATTING SAID INNER INSULATED LAYER
摘要
申请公布号 JPS61222150(A) 申请公布日期 1986.10.02
申请号 JP19860019137 申请日期 1986.01.30
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 ROBAATO TEI FURAA;INHAAKU AI SUU
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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