VERFAHREN ZUM STEUERN DER GESCHWINDIGKEIT VON FEINEN PARTIKELN,申请号DE19863610296-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM STEUERN DER GESCHWINDIGKEIT VON FEINEN PARTIKELN
摘要
申请公布号	DE3610296(A1)	申请公布日期	1986.10.02
申请号	DE19863610296	申请日期	1986.03.26
申请人	CANON K.K.	发明人	ANDO,KENJI;CHIBA,YUJI;MASAKI,TATSUO;SUGATA,MASAO;OSABE,KUNJI;KAMIYA,OSAMU
分类号	C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;F15D1/00;(IPC1-7):B05B1/26;B05B7/14	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
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