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发明名称 METODO A DUE STADI PER LA PULITURA DI LASTRINE DI SILICIO
摘要
申请公布号 IT1141041(B) 申请公布日期 1986.10.01
申请号 IT19800024611 申请日期 1980.09.11
申请人 RCA CORP 发明人 SHWARTZMAN STANLEY
分类号 H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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