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经营范围
发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
EP0097848(B1)
申请公布日期
1986.10.01
申请号
EP19830105623
申请日期
1983.06.08
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
OKUMURA, KATSUYA;SHINKI, TOSHINORI;SATO, TAKASHI;UEDA, MASAAKI
分类号
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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