发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0097848(B1) 申请公布日期 1986.10.01
申请号 EP19830105623 申请日期 1983.06.08
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 OKUMURA, KATSUYA;SHINKI, TOSHINORI;SATO, TAKASHI;UEDA, MASAAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址