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经营范围
发明名称
TREATMENT FOR ELECTRON RESIST
摘要
申请公布号
GB8620414(D0)
申请公布日期
1986.10.01
申请号
GB19860020414
申请日期
1986.08.21
申请人
PLESSEY CO PLC
发明人
分类号
C08J3/24;G03F7/16;H01L21/312
主分类号
C08J3/24
代理机构
代理人
主权项
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