| 发明名称 |
METHOD FOR THE CONTACTLESS TESTING OF AN OBJECT, ESPECIALLY OF MICROWIRINGS, WITH A PARTICLE RADIATION PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0104577(B1) |
申请公布日期 |
1986.10.01 |
| 申请号 |
EP19830109268 |
申请日期 |
1983.09.19 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
LISCHKE, BURKHARD, PROF. DR. |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/305;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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