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PROCEDIMIENTO PARA DEPOSITAR UN REVESTIMIENTO DE UN NITRURO DE METAL DE TRANSICION SELECCIONADO, SOBRE UN SUSTRATO. COMPRENDE: A) SITUAR AL SUSTRATO EN UNA CAMARA DE DEPOSICION; B) MEZCLAR A UN COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION DE FORMULA (MRX) Y EN ESTADO LIQUIDO CON UN GAS PORTADOR COMO UNA MEZCLA DE HIDROGENO Y NITROGENO ENTRE C20J Y 60JC EN UN BORBOTEADOR; C) TRANSPORTAR A LA MEZCLA DE COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION Y GAS PORTADOR HASTA LA CAMARA DE DEPOSICION A TRAVES DE UNA BOMBA DE VACIO; Y D) DEPOSITAR AL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SOBRE EL SUSTRATO, ENTRE 400JC Y 800JC Y A UNA PRESION ENTRE 0,2 Y 100 TORR. SIENDO: R, AZIDA, HALOGENO Y -NRKR2; R1 Y R2, HIDROGENO, ALQUILO INFERIOR, CICLOPENTADIENILO Y OTROS; M, METAL DE TRANSICION SELECCIONADO ENTRE TI, NB, ZR, HF, MO, W, CR Y V; Y X UN NUMERO ENTERO ENTRE 2 O 6. EL SUSTRATO SE SELECCIONA ENTRE ARSENIURO DE GALIO Y DE SILICIO Y EL COMPUESTO DE METAL DE TRANSICION SE SELECCIONA ENTRE, TETRAQUIS (DIMETILAMINO)TITANIO; TETRAQUIS(DIETILAMINO)TITANIO Y TETRAQUIS(DIETILAMINO)CIRCONIO.
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