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发明名称
摘要
申请公布号 DE2854901(C2) 申请公布日期 1986.09.25
申请号 DE19782854901 申请日期 1978.12.19
申请人 NIPPON ELECTRIC CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TOKUDA, KAZUO;WATANABE, HIDETARO;SHIMIZU, YOSHIKAZU, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L27/04;G05F1/56;G05F3/18;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06;H01L23/56 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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