发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING CONDUCTORS FOR INTEGRATED CIRCUITS BY THE PLANAR TECHNIQUE
摘要
申请公布号 EP0114133(B1) 申请公布日期 1986.09.24
申请号 EP19840400047 申请日期 1984.01.10
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 DARGENT, BRUNO
分类号 H01L21/302;G11C11/14;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/3065;H05K3/04;H05K3/10;(IPC1-7):H01L21/00;H01F41/14 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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