发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING CONDUCTORS FOR INTEGRATED CIRCUITS BY THE PLANAR TECHNIQUE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0114133(B1) |
申请公布日期 |
1986.09.24 |
申请号 |
EP19840400047 |
申请日期 |
1984.01.10 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL |
发明人 |
DARGENT, BRUNO |
分类号 |
H01L21/302;G11C11/14;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/3065;H05K3/04;H05K3/10;(IPC1-7):H01L21/00;H01F41/14 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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