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发明名称 POSITIVE-WORKING PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 GB8619368(D0) 申请公布日期 1986.09.17
申请号 GB19860019368 申请日期 1986.08.08
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人
分类号 G03C1/72;C08G8/08;C08K5/42;C08L61/08;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/032;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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