| 发明名称 |
BILEVEL ULTRAVIOLET RESIST SYSTEM FOR PATTERNING SUBSTRATES OF HIGH REFLECTIVITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2135793(B) |
申请公布日期 |
1986.09.10 |
| 申请号 |
GB19840001558 |
申请日期 |
1984.01.20 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
EDITH TING TING * ONG |
| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/00;G03F7/095;H01L21/30;(IPC1-7):G03C1/72 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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