低温等离子体的化学检测方法

摘要

等离子体空间分布的检测方法。借助二苯基苦基酰肼与自由基的定量反应测定出在放电反应管内特定部位上被低温等离子体照射过的固体样品的表面过氧化基量，由此推断等离子体空间分布的均匀度。此法首次提出了利用化学反应进行等离子体诊断的方法，同传统的物理法诊断技术相比，简便、实用，可以将检测数据与等离子体化学反应的最终结果建立联系。

主权项

1、一种等离子体空间分布的检测方法，其特征是，将固体样品以特定方式放在放电反应器的空间之中，进行放电，使固体样品受到等离子体的作用，然后借助化学定量反应测定固体样品表面的化学基团。