| 发明名称 |
PROCEDIMENTO E APPARECCHIATURA PER L'ALLINEAMENTO DI MASCHERE/FETTE DI SILICIO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1137326(B) |
申请公布日期 |
1986.09.10 |
| 申请号 |
IT19810021022 |
申请日期 |
1981.04.09 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO INC. |
发明人 |
FELDMAN MARTIN;WHITE ALAN DAVID;WHITE DONALD LAWRENCE |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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