发明名称 |
SUBSTRATE CONSERVATIVE STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61203383(A) |
申请公布日期 |
1986.09.09 |
申请号 |
JP19850037102 |
申请日期 |
1985.02.26 |
申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
SHIRAAI AKIRA;TANAKA ARINORI |
分类号 |
B65G1/18;B65D25/10;B65D85/38;B65G1/00;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G1/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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