发明名称 SUBSTRATE CONSERVATIVE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS61203383(A) 申请公布日期 1986.09.09
申请号 JP19850037102 申请日期 1985.02.26
申请人 HOYA CORP 发明人 SHIRAAI AKIRA;TANAKA ARINORI
分类号 B65G1/18;B65D25/10;B65D85/38;B65G1/00;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/68 主分类号 B65G1/18
代理机构 代理人
主权项
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