发明名称
摘要
申请公布号 JPS6140146(B2) 申请公布日期 1986.09.08
申请号 JP19780102963 申请日期 1978.08.25
申请人 FUIRITSUPUSU FURUUIRANPENFUABURIKEN NV 发明人 YOHANESU ANTONIUSU ANDOREASU FUAN GIRUSU
分类号 H01L21/32;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/73 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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