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摘要
申请公布号
JPS6140146(B2)
申请公布日期
1986.09.08
申请号
JP19780102963
申请日期
1978.08.25
申请人
FUIRITSUPUSU FURUUIRANPENFUABURIKEN NV
发明人
YOHANESU ANTONIUSU ANDOREASU FUAN GIRUSU
分类号
H01L21/32;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/10;H01L29/73
主分类号
H01L21/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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