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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LICHTWELLENLEITER-STRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE3507271(A1) 申请公布日期 1986.09.04
申请号 DE19853507271 申请日期 1985.03.01
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH 发明人 BACHMANN,PETER,DR.;GEITTNER,PETER,DR.;LYDTIN,HANS,DR.
分类号 G02B6/13;C03C23/00;G02B6/134;(IPC1-7):C03C17/02;C03B37/075;G02B6/12;H01L31/18 主分类号 G02B6/13
代理机构 代理人
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