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发明名称
摘要
申请公布号 JPS61142444(U) 申请公布日期 1986.09.03
申请号 JP19850024808U 申请日期 1985.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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