发明名称 PROCEDIMENTO PER DEPOSITARE MATERIALE DA UN FLUSSO DI PARTICELLE SU UN SUBSTRATO COLLETTORE
摘要
申请公布号 IT1136992(B) 申请公布日期 1986.09.03
申请号 IT19810021601 申请日期 1981.05.08
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人 SILFVAST WILLIAM THOMAS
分类号 H01L21/203;C23C14/02;C23C14/28;C23C14/48;C23C26/00;C30B1/02;C30B31/22;H01L21/20;H01L21/223;H01L21/26;H01L21/268 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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