低能电子谱仪分析栅

摘要

本实用新型提供了一种改进的低能电子谱仪分析栅，即蜂窝状结构分析栅，它是用金属或绝缘材料表面涂以导电物质制成的。该分析栅不但制造工艺简单，成本低，而且分辨率和透射率都超过了4线/毫米的双层金属栅网，分辨率优于10^-4，透射率优于98％。

主权项

1.一种低能电子谱仪用的分析栅，由金属材料制成的平面或球面的电子束 栅网组成，其特征在于栅网呈蜂窝状结构，蜂窝栅格的形状为多边形或者圆形， 蜂窝栅格高度与蜂窝栅格孔径的比值为1.5至10。