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发明名称 A COMPOSITION OF MATTER OF USE AS A RESIST IN LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP0147127(A3) 申请公布日期 1986.09.03
申请号 EP19840308616 申请日期 1984.12.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BABICH, EDWARD DARKO;HATZAKIS, MICHAEL;PARASZCAK, JURI ROSTYSLAV;SHAW, JANE MARGARET
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/10;G03F7/08 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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