发明名称 |
FORMATION OF COPPER ELECTRODE ON ALUMINUM NITRIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61197488(A) |
申请公布日期 |
1986.09.01 |
申请号 |
JP19850037133 |
申请日期 |
1985.02.26 |
申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
AKAHO TETSUO;TSUYUKI HIROSHI;SUZUKI TOSHIHIRO;SAWAMURA KENTARO |
分类号 |
C04B37/02;C04B41/51;C04B41/80;C04B41/88;C23C14/14;C23C14/58;H05K1/03;H05K3/18;H05K3/38 |
主分类号 |
C04B37/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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