发明名称 FORMATION OF COPPER ELECTRODE ON ALUMINUM NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS61197488(A) 申请公布日期 1986.09.01
申请号 JP19850037133 申请日期 1985.02.26
申请人 TDK CORP 发明人 AKAHO TETSUO;TSUYUKI HIROSHI;SUZUKI TOSHIHIRO;SAWAMURA KENTARO
分类号 C04B37/02;C04B41/51;C04B41/80;C04B41/88;C23C14/14;C23C14/58;H05K1/03;H05K3/18;H05K3/38 主分类号 C04B37/02
代理机构 代理人
主权项
地址