| 发明名称 |
PROCEDE D'AMELIORATION D'IMAGE DANS UNE MATIERE DE RESERVE PHOTOGRAPHIQUE POSITIVE PAR INVERSION D'IMAGE |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LES TECHNIQUES DE PHOTOLITHOGRAPHIE.</P><P>UN PROCEDE D'INVERSION D'IMAGE DESTINE A FORMER UNE IMAGE NEGATIVE SUR UNE SURFACE EN UTILISANT UNE MATIERE DE RESERVE PHOTOGRAPHIQUE POSITIVE COMPREND NOTAMMENT LES OPERATIONS SUIVANTES: ON EXPOSE LA MATIERE DE RESERVE A UN RAYONNEMENT ACTINIQUE 3, A TRAVERS UN MASQUE, POUR FORMER UN ACIDE DANS LES PARTIES EXPOSEES; ON SOUMET ENSUITE LA MATIERE DE RESERVE A UN TRAITEMENT PAR UNE VAPEUR D'AMINE CHAUFFEE 4, QUI REND L'ACIDE INSOLUBLE DANS DES SOLUTIONS ALCALINES ET RELATIVEMENT INSENSIBLE A UNE EXPOSITION ULTERIEURE A LA LUMIERE; ON SOUMET TOUTE LA SURFACE A UNE EXPOSITION GENERALE 5; ET ON DEVELOPPE ENSUITE LA MATIERE DE RESERVE 6 POUR ENLEVER LES PARTIES EXPOSEES AU COURS DE L'EXPOSITION GENERALE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES.</P>
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| 申请公布号 |
FR2578065(A1) |
申请公布日期 |
1986.08.29 |
| 申请号 |
FR19850015400 |
申请日期 |
1985.10.17 |
| 申请人 |
IMTEC PRODUCTS INC |
发明人 |
CRAIG M. STAUFFER ET ERIC ALLING;ALLING ERIC |
| 分类号 |
G03C5/00;G03C5/08;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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