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发明名称 ION IMPLANTER TARGET CHAMBER
摘要
申请公布号 GB8617450(D0) 申请公布日期 1986.08.28
申请号 GB19860017450 申请日期 1986.07.17
申请人 EATON CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/265;H01J37/317;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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