| 发明名称 |
Etching aluminum/copper alloy films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2171360(A) |
申请公布日期 |
1986.08.28 |
| 申请号 |
GB19860001485 |
申请日期 |
1986.01.22 |
| 申请人 |
* OERLIKON-BUHRLE U S A INC |
发明人 |
HENRY A * MAJEWSKI;RICHARD F * LANDAU |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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