发明名称 METODO PER LA FORMAZIONE DI PELLICOLE DI SILICIO DI TIPO P E DISPOSITIVI UTILIZZANTI TALE PELLICOLE
摘要
申请公布号 IT1135827(B) 申请公布日期 1986.08.27
申请号 IT19810021753 申请日期 1981.05.15
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC 发明人 STANFORD R.OVSHINSKY;CANNELLA VINCENT D.;MASATSUGU IZU
分类号 H01L31/04;C23C16/517;C23C16/54;H01L21/205;H01L27/142;H01L31/16;H01L31/18;(IPC1-7):H01V/ 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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