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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6137799(B2)
申请公布日期
1986.08.26
申请号
JP19770013558
申请日期
1977.02.11
申请人
HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI
发明人
NISHIZAWA JUNICHI
分类号
H01L29/80;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8244;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/11;H01L29/06;H01L29/78
主分类号
H01L29/80
代理机构
代理人
主权项
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