发明名称 CONTROLLED ROUGHENING OF PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0131299(A3) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 EP19840107983 申请日期 1984.07.07
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 BENNETT, ALLYN NOEL
分类号 G03C1/00;B23F23/12;G03F7/004;G03F7/11;G03F7/115;G03F7/16;H05K3/00;H05K3/28;H05K3/38;(IPC1-7):G03F7/16;G03F7/02 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
地址